电容式位置传感，亚纳米级分辨率

简要描述：电容式位置传感，亚纳米级分辨率，50 kSa/s 数据采集；提供平板、圆柱和螺柱三种探头形式，量程覆盖 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm；提供高真空.HV、超高真空.UHV & 无磁材料.NM 的多版本选择

产品型号：Faraday
厂商性质：生产厂家
更新时间：2025-06-24
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纳米级位置传感

电容式位置传感

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详细介绍

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

➡ 亚纳米级空间分辨率，多通道高速并行数据采集，支持超高真空、无磁特殊使用环境

• 50 kSa/s 数据传输&采集带宽；

• 0.2-3 mm 量程覆盖;

• 亚纳米级超高分辨率；

• ≤ ±0.01% FSO 高线性度；

多种量程 & 多种安装形态

提供平板、圆柱和螺柱三种探头形式，量程覆盖 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm
提供高真空.HV、超高真空.UHV & 无磁材料.NM 的多版本选择

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

电容式位置传感，亚纳米级分辨率——详细参数：

尺寸图：

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

位置监视器·Faraday系列

单机最多可达8通道，自由配置

灵活带宽选择，高速数据采集

功能·高速数据采集

50 kSa/s 数据采集，高速记录冲击式振动

全程无遗漏

实测数据源自单脉冲式敲击引发的平面振动，监视运动全程

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

功能·软件功能

实时 FTT 分析

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

多通道位置数据显示

采样率可调

FFT分析

实时频谱分析

速度 & 加速度分析

实时差分信号

数据索引

自动寻峰/谷

软件归零

随时配置数字零点

超范围预警

预警条件可设置

功能·高速实时通讯

20 µs / 数据点实时通讯

用于超精密运动闭环控制

选用 C1-FLT 传感器搭配 Faraday.03 监视器提供实时位置信息，每 20 μs 进行一次位置更新，为 PID 闭环控制提供关键支持。

电容式位置传感，亚纳米级分辨率

闭环运动系统可在 5.3 ms 内实现启动、加速、匀速、减速和停止五个运动过程，并完成 1 μm 的平滑阶跃，且无过冲现象

多场科技致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广。得益于公司在“强磁场、超高真空和极低温环境"环境领域下长期的探索与积累，多场科技已形成了全环境纳米运动控制产品集群，成为国际上为数不多的，可以提供全环境下的纳米级运动控制解决方案的团队。

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