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纳米级位置传感
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电容式位置传感,亚纳米级分辨率,50 kSa/s 数据采集;提供平板、圆柱和螺柱三种探头形式,量程覆盖 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm;提供高真空.HV、 超高真空.UHV & 无磁材料.NM 的多版本选择