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什么是低温压电扫描台?

更新时间:2024-06-27      点击次数:100
  低温压电扫描台是一种高精度、高稳定性的精密定位设备,是一种利用压电材料的逆压电效应,在低温环境下进行精密定位与扫描的设备。它能够在低温、真空及磁场等*端条件下提供纳米级的高精度定位和运动控制,广泛应用于半导体加工、检测、高精密测试和操作以及其他真空无磁要求的纳米运动控制等领域。
  本公司提供的低温压电扫描台Scanner16-xy的参数:
  1、紧凑的设计,外形尺寸:16 * 16 * 7 mm
  2、超高真空 & 极低温兼容:2 E-11 mbar & 30 mK
  3、无磁材料 纯Ti & BeCu组成,兼容 35 Tesla磁场
  4、高负载:100 g
  5、行程@300 K:30*30 um
  6、空间扫描达到 0.8 nm 分辨率
  低温压电扫描台在半导体加工、检测、高精密测试和操作等领域有着广泛的应用。例如,在半导体加工中,它可以实现纳米级的精确切割和定位;在半导体检测中,它可以提供高精度的扫描和测量;在高精密测试和操作中,它可以实现微小尺度的精密操控。