Carrier.R200,压电陶瓷载物台,旋转运动,兼容高真空; 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案。
AutoScrew.Pro,闭环控制压电螺钉,断电自锁,兼容高真空 -大输出力,断电自锁 -行程10 mm,最小步伐20 nm -光学闭环传感,± 250 nm重复定位精度 -100 N大保持力 -高真空版本可选
Carrier.Sxxx.6D,通孔型压电扫描台,XYZTxTyRz六自由度运动 -电容闭环,最高分辨率1 nm/0.1 urad -优于3 nm重复定位精度 -100/200/300 μm多行程可选 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XYZ,通孔型压电扫描台,XYZ三轴并联运动 -电容传感闭环控制,最高分辨率1 nm -优于10 nm重复定位精度 -100/200/300 μm多行程可选 -无磁,超高真空等特殊版本可选
SH150.X,压电单轴高负载扫描台,兼容无磁高真空 -X轴150 μm行程,8 kg高负载 -电容传感闭环控制,最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
S100.XYZ.P,压电纳米扫描台,XYZ三轴并联扫描运动 -XYZ三自由度并联运动,单轴100 μm行程 -电容传感闭环控制,最高分辨率1 nm -优于6 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选