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ARTICLESLSxx.Lab 系列压电光学位移台产品,纳米级位置传感。压电线性位移台,光学传感,兼容无磁高真空 $n真正的纳米精度位移台:步进运动和超精细·位置实时调节的深度融合$n– 无磁材料构成,保证30 Tesla 磁场可用 .NM$n– 超高真空兼容材料构成,保证 2E-11 mbar 兼容 .UHV
Carrier.OB100.C,压电扫描台,压电物镜台 物镜型100um,兼容无磁高真空$n“Carrier.OB系列“ 大行程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征
Carrier.R200,压电陶瓷载物台,旋转运动,兼容高真空; 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案。
Free6D.3-2.150.G2,压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节。
Carrier.Lxxxx.XY,压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空$n“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征
Carrier.HS100.z.TxTy.C,压电陶瓷偏转台,高负载通孔型,zTxTy方向;针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;⽀持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级。