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Sxxx.XY，压电扫描台，XY轴平面扫描，兼容无磁高真空 -100/200/300/500 μm多行程可选 -电容传感闭环控制，最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Force6D，大负载压电六轴并联台，兼容高真空 - XYZTxTyRz 六自由度运动 - 并联结构，同时保证自由度和精度的最好选择 - 光栅尺闭环控制，±250 nm 重复定位精度 - 10 kg最大负载，可定制
Speed 系列高速压电旋转运动台，兼容无磁高真空。 -旋转最高速度达720 °/s -支持多种通讯接口; 支持模拟信号运动控制 -更快的单次伺服周期 & 更高的算法效率保障高速下的高精度 -无磁超高真空等特殊版本可选
Speed 系列高速压电线性运动台，兼容无磁高真空。 -直线最高速度达200 mm/s -支持多种通讯接口; 支持模拟信号运动控制 -更快的单次伺服周期 & 更高的算法效率保障高速下的高精度 -无磁超高真空等特殊版本可选
小尺寸压电位移台，兼容无磁高真空 ·光栅尺闭环控制，5nm最小步伐 ·300g级别重量负载 ·无磁超高真空等特殊版本可选
Force 系列大推力压电闭环运动台，兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制，5nm最小步伐 ·最大推力达60N ·无磁超高真空等特殊版本可选
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