FDU 系列大推力压电运动模块,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,5nm最小步伐 ·最大推力达100N ·无磁超高真空等特殊版本可选
RS.Lab 系列压电旋转位移台,光学传感,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,360°连续旋转 ·配备通光孔径 ·1urad级别最小步伐 ·无磁超高真空等特殊版本可选
LSX.Lab 系列压电垂直位移台,光学传感,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,5nm最小步伐(1nm可选) ·优于150nm重复定位精度 ·1000g级别重量负载 ·无磁超高真空等特殊版本可选
压电电动螺钉,亚纳米运动控制,300N大推力 -行程18 μm,开环分辨率1 nm -无磁,高真空版本可选
AutoScrew.LR,压电电动螺钉,断电自锁,兼容无磁高真空 -大输出力,断电自锁 -行程10 mm,最小步伐20 nm -100 N大保持力 -无磁,高真空版本可选
Mirrors25.L125,压电电动光学调整架,自动镜架,断电保持;3自由度调节偏转,用于镜片转动和光路调节等应用场景