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压电快反镜，3自由度调节，高速摆镜 -3自由度调节偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景 -Z轴行程12 μm，TxTy偏摆行程1 mrad -04 nm, 0.1 μrad运动分辨率 -无磁, 高真空版本可选
压电快反镜，TxTy镜片偏摆，高速摆镜 -大角度 & 高动态偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景 -0.1 μrad闭环运动分辨率，± 0.8 μrad重复定位精度 -无磁，高真空版本可选
压电移相器Z轴运动，兼容无磁高真空； -光路调节，毫秒级运动响应 -外形尺寸 φ25 x31 mm -Z方向闭环运动行程12 μm
Free3D.ZTxTy.150，压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动； - ZTxTy并联运动 - 光学闭环传感，±300 nm重复定位精度 - 2 kg最大负载，60 mm中空孔径
Free6D，压电六轴并联台，六自由度运动，兼容高真空 - XYZTxTyRz 六自由度运动 - 并联结构，同时保证自由度和精度的最好选择 - 光栅尺闭环控制，±250 nm 重复定位精度 - 多尺寸可选
Carrier.Lxxxx.XY，纳米级压电载物台，大通光孔 - 光学闭环传感，最小步伐5 nm - XY方向大行程运动，4 kg最大负载 - 大通光孔设计，多尺寸可选 - 适配商业显微镜，兼容无磁超高真空
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