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压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空

简要描述:Carrier.Lxxxx.XY,压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空
“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征

  • 产品型号:Carrier.Lxxxx.XY
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-27
  • 访  问  量:256

详细介绍

压电载物台·闭环 Carrier.Lxxxx.XY

针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案

 

 

Carrier.L7550XY

XY方向行程 75 mm × 50 mm

最小步伐约 5 nm

最高速度 20 mm/s

位置传感器分辨率:1 nm

全行程运动中,保证通孔 85 mm × 65 mm

⽀持无磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)

主体铝合金 (硬质氧化发黑)

 

Carrier.L1010XY

XY方向行程 100 mm × 100 mm;

最小步伐约 5 nm;

最高速度 10 mm/s;

位置传感器分辨率:1 nm;

全行程运动中,保证通孔 85 mm × 65 mm;

⽀持无磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV);

主体铝合金 (硬质氧化发黑);


压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空——详细参数:

 

压电载物台,大行程高负载,兼容无磁高真空——尺寸图

Carrier.L7550.XY

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Carrier.L1010.XY

 

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多场科技致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广。得益于公司在“强磁场、超高真空和极低温环境”环境领域下长期的探索与积累,多场科技已形成了全环境纳米运动控制产品集群,成为国际上为数不多的,可以提供全环境下的纳米级运动控制解决方案的团队。

 

 

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