Force6D,大负载压电六轴并联台,兼容高真空 - XYZTxTyRz 六自由度运动 - 并联结构,同时保证自由度和精度的最好选择 - 光栅尺闭环控制,±250 nm 重复定位精度 - 10 kg最大负载,可定制
Free3D.ZTxTy.150,压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动; - ZTxTy并联运动 - 光学闭环传感,±300 nm重复定位精度 - 2 kg最大负载,60 mm中空孔径
Free6D,压电六轴并联台,六自由度运动,兼容高真空 - XYZTxTyRz 六自由度运动 - 并联结构,同时保证自由度和精度的最好选择 - 光栅尺闭环控制,±250 nm 重复定位精度 - 多尺寸可选