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压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动

简要描述:Free3D.ZTxTy.150,压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动;由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构,有效降低累积误差;多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高。

  • 产品型号:Free3D.ZTxTy.150
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-18
  • 访  问  量:72

详细介绍

压电·三轴并联 Free3D.ZTxTy.150

3自由度并联设计,空间中ZTT移动

由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构,有效降低累积误差

多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

平动行程:Z  ±5 mm

主体材料:铝合金;

角摆行程:ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °

最大垂直负载:3 kg;

• 单向重复定位精度Z±0.15 μm

单向重复定位精度ΘX, ΘY±2.5 μrad, ±2.5 μrad

最小位移Z:25 nm

最小位移ΘX, ΘY:7.5 μrad, 7.5 μrad

• 速度:1 mm/s - 10 mm/s

重量:1.5 kg

可提供真空环境规格

集成传感器:光学编码器

位置传感分辨率:2 nm

控制软件:提供PC端使用软件;

控制器通道:3通道输出控制;

 控制方式:根据用户输入的位移指令,实现对位移台三轴空间姿态的运动调节;各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对三轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现三轴空间姿态的同时调节


压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动——详细参数:



压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动——尺寸图

压电三轴并联位移台,三自由度,ZTT移动




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