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压电快反镜，3自由度调节，高速摆镜 -3自由度调节偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景 -Z轴行程12 μm，TxTy偏摆行程1 mrad -04 nm, 0.1 μrad运动分辨率 -无磁, 高真空版本可选
压电快反镜，TxTy镜片偏摆，高速摆镜 -大角度 & 高动态偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景 -0.1 μrad闭环运动分辨率，± 0.8 μrad重复定位精度 -无磁，高真空版本可选
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