RS.Lab 系列压电旋转位移台,光学传感,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,360°连续旋转 ·配备通光孔径 ·1urad级别最小步伐 ·无磁超高真空等特殊版本可选
LSX.Lab 系列压电垂直位移台,光学传感,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,5nm最小步伐(1nm可选) ·优于150nm重复定位精度 ·1000g级别重量负载 ·无磁超高真空等特殊版本可选
GS.Lab 系列产品,压电摇摆位移台,光学传感,兼容无磁高真空 ·光栅尺闭环控制,1urad最小步伐 ·1000g级别重量负载 ·无磁超高真空等特殊版本可选
LSX.Lab 系列压电水平位移台,光学传感,兼容无磁高真空。 ·光栅尺闭环控制,5nm最小步伐(1nm可选) ·优于150nm重复定位精度 ·1000g级别重量负载 ·无磁超高真空等特殊版本可选