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压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空

简要描述:Free6D.3-2.150.G2,压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节。

  • 产品型号:Free6D.3-2.150.G2
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-18
  • 访  问  量:470

详细介绍

压电·六轴并联 Free6D.3-2.150.G2

多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构,有效降低累积误差

多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

平动行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm

角摆行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °

最小步伐:0.1 μm/5 μrad

可提供真空环境规格

控制器:根据用户输⼊的位移指令,实现对位移台六轴空间姿态的运动调节

控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节;

控制软件:提供PC端使用软件,支持labview,串口命令集控制

 

压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空——详细参数:

 

压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空——尺寸图

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