压电载物台是一种基于压电材料逆压电效应实现高精度、高稳定性运动控制的精密设备,广泛应用于显微操作、半导体检测、光子对准、原子力显微镜及生物细胞微操作等领域。其特点有:
高精度定位:位移精度高,可达纳米级甚至亚纳米级。
快速响应:响应速度快,高频响应的压电驱动器支持动态模式,可减少图像失真。
无摩擦运动:采用柔性铰链导向机构,利用弹性变形实现无摩擦导向,确保运动过程的平稳性和重复性,无需担心磨损和润滑问题。
多轴运动能力:常见的设备采用多层压电陶瓷堆叠结构,能够在 X、Y、Z 三个方向上独立或联动控制,从而实现二维平面扫描或三维空间定位。
在选购压电载物台时可关注以下几个方面:
1、行程与精度:
2、负载能力:
3、自由度:
4、动态性能:
5、环境适应性:
6、控制系统:开环系统成本低、速度快,但精度受蠕变和迟滞影响;闭环系统通过集成传感器实时反馈,精度更高但更复杂昂贵。