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在选择压电载物台时可先看本文!

更新时间:2025-08-28      点击次数:76

压电载物台是一种基于压电材料逆压电效应实现高精度、高稳定性运动控制的精密设备,广泛应用于显微操作、半导体检测、光子对准、原子力显微镜及生物细胞微操作等领域。其特点有:

高精度定位:位移精度高,可达纳米级甚至亚纳米级。

快速响应:响应速度快,高频响应的压电驱动器支持动态模式,可减少图像失真。

无摩擦运动:采用柔性铰链导向机构,利用弹性变形实现无摩擦导向,确保运动过程的平稳性和重复性,无需担心磨损和润滑问题。

多轴运动能力:常见的设备采用多层压电陶瓷堆叠结构,能够在 XYZ 三个方向上独立或联动控制,从而实现二维平面扫描或三维空间定位。

在选购压电载物台时可关注以下几个方面:

1、行程与精度:根据应用需求选择行程(纳米、微米或毫米级)和定位精度(亚纳米、纳米或微米级)。

2、负载能力:确认载物台需推动的物体重量,选择支持相应负载的产品。

3、自由度:确定所需运动方向。例如,显微操作可能需要XYZ三维定位。

4、动态性能:评估响应速度和刚度/推力。

5、环境适应性:根据工作环境选择是否支持真空、无磁或特定温度范围。

6、控制系统:开环系统成本低、速度快,但精度受蠕变和迟滞影响;闭环系统通过集成传感器实时反馈,精度更高但更复杂昂贵。