联系电话 13736813534

当前位置:首页  >  技术文章  >  压电载物台的应用场景有哪些?

压电载物台的应用场景有哪些?

更新时间:2026-01-28      点击次数:43
  压电载物台是基于压电陶瓷逆压电效应实现微米/纳米级高精度位移的精密运动平台,核心用于承载样品并完成超精细的位置调整,定位精度可达纳米级(nm)、重复定位精度≤±1nm,响应速度微秒级,同时具备无机械摩擦、无间隙、高刚性、低功耗的特点,是微纳加工、精密检测、光学调整、生物显微等领域的核心精密部件。
  与传统电机驱动的载物台相比,压电载物台摒弃了齿轮、丝杆等机械传动结构,直接通过压电陶瓷的形变驱动位移,从根源消除了机械间隙、回程误差和摩擦磨损,适配对位移精度、响应速度、运动平稳性要求较高的微纳操作场景。
  压电载物台的核心驱动力源于压电材料的逆压电效应。当对压电材料(如压电陶瓷、压电单晶)施加交变电场时,材料内部的偶极子定向排列,导致晶体晶格产生微小伸缩。通过机械结构放大或直接驱动,可实现高精度位移输出。
  应用场景:
  半导体制造:在光刻、晶圆检测等环节中,压电载物台用于调整光刻镜头或晶圆位置,实现纳米级定位精度。
  光学调整:用于光学元件的对准、光路调整等,确保光学系统的性能稳定。
  生物细胞操作:在生物显微切割、细胞注射等操作中,压电载物台实现微米至纳米级精度的细胞定位和移动。
  微纳加工:在激光微加工、3C行业精密装配等领域,压电载物台提供高精度的位移控制,确保加工质量。