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压电光学旋转台的介绍

更新时间:2026-02-11      点击次数:67
  压电光学旋转台是基于逆压电效应驱动、专为光路中光学元件做超精细角度调节/连续旋转的核心部件,广泛用于半导体、生物成像、精密光学检测等领域,区别于电磁电机台,其响应快、分辨率达微弧度/纳弧度级。
  压电光学旋转台的特性:
  高精度:压电陶瓷具有较高的形变精度和稳定性,能够实现微纳米级的旋转控制,满足高精度光学操控需求。
  快速响应:压电陶瓷的响应速度极快,能在极短时间内完成旋转动作,适用于需要快速响应的场合。
  稳定性强:压电陶瓷具有良好的温度稳定性和时间稳定性,能长时间保持稳定输出,确保长时间运行和复杂环境中的性能稳定。
  体积小巧:采用精密机械设计和高集成度电子元件,体积小巧、重量轻,便于在有限空间内实现高精度光学操控。
  应用场景:
  光学检测与计量:干涉仪、椭偏仪中波片/偏振片角度微调,激光雷达光束稳定,光谱仪光路切换;
  半导体与光刻:晶圆检测中物镜角度补偿,掩膜对准,光纤阵列耦合;
  生物医学成像:共聚焦显微镜载物台旋转,光镊系统中粒子角度操控,双光子显微镜光束扫描;
  自适应光学:快速反射镜角度补偿,波前校正。