Carrier.Sxxx.ZTxTy,通孔型压电扫描台,Z向垂直运动+TxTy偏摆 -垂直运动,TxTy两轴摇摆调节 -电容闭环,运动分辨率1 nm/0.05 urad -优于10 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.Z,通孔型压电扫描台,Z方向,高负载 -电容传感闭环控制,1 nm运动分辨率 -80 mm大通孔,5 kg大负载 -Z方向垂直运动高准直,100/200 μm多行程可选 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XYRz,通孔型压电扫描台,XYRz方向运动 -XY水平高速运动,绕Z轴旋转设计 -电容闭环,运动分辨率1 nm/0.3 urad -100/200 μm多行程可选 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XY,通孔型压电扫描台,XY方向平面运动 -电容传感闭环控制,最高分辨率1 nm -优于10 nm重复定位精度 -100/200 μm多行程可选 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Carrier.SL200.XY / XYZ,压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感 Carrier.SL 系列,轻量型,XY & XYZ 运动
OB100HL,物镜型压电扫描台,高负载,兼容无磁高真空 -Z轴垂直运动100/200 μm,1 kg最大负载 -优于5 nm重复定位精度 -支持多种规格镜头,可升级自动对焦功能 -支持无磁/高真空版本