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压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感

简要描述:Carrier.SL200.XY / XYZ,压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感
Carrier.SL 系列,轻量型,XY & XYZ 运动

  • 产品型号:Carrier.SL200.XY / XYZ
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-18
  • 访  问  量:209

详细介绍

压电载物台·闭环 Carrier.SL200.XY / XYZ

针对载物台“大行程·高精度·重负载"需求的定制化解决方案


两维度 XY 扫描运动 200 um × 200 um

三维度 XY 扫描运动 200 um × 200 um × 200 um

闭环定位精度优于 2 nm

最大负载 500 g

针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案

⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感——详细参数:



压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感——尺寸图

压电三维扫描台,通孔型,电容闭环传感


多场科技“压电扫描台·通孔型"解决方案包括Carrier.S 系列(标准型)和Carrier.SL 系列(轻量型)。Carrier.S & SL 系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,覆盖载物台“大行程·高精度·重负载"等需求,核心特点包括:

运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持

线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级






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