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压电偏转台,高负载通孔型,XYRz方向

简要描述:Carrier.S100/200.xyRz.C,压电偏转台,高负载通孔型,XYRz方向
Carrier.S 系列,标准型

  • 产品型号:Carrier.Sxxx.xyRz.C
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-18
  • 访  问  量:264

详细介绍

压电载物台·高负载通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

高负载·高速XY平面运动,Z轴旋转设计,保证XY面内准直运动



两维度 XY 扫描运动100 um, Z轴旋转运动1 mrad

闭环分辨率优于 1 nm

最大负载 5 kg

针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案

⽀持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级


压电偏转台,高负载通孔型,XYRz方向——详细参数:



压电偏转台,高负载通孔型,XYRz方向——尺寸图

压电偏转台,高负载通孔型,XYRz方向


多场科技“压电扫描台·通孔型"解决方案包括Carrier.S 系列(标准型)和Carrier.SL 系列(轻量型)。Carrier.S & SL系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,覆盖载物台“大行程·高精度·重负载"等需求,核心特点包括:

运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持

线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级









 

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