OBxxx,压电物镜扫描台,Z轴运动,兼容无磁高真空 -电容传感闭环控制,最高分辨率0.5 nm -100/200/400 μm多行程可选 -优于8 nm重复定位精度 -支持多种规格镜头,可升级自动对焦功能 -无磁/高真空版本可选
SH30.XYZ,高负载三轴压电扫描台,兼容无磁高真空 -XYZ三轴扫描运动,10 kg大负载 -电容传感闭环控制,最高分辨率0.3 nm -优于4 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
SD15/30.X,压电单轴高速扫描台,兼容无磁高真空 -3.3kHz共振频率 (零负载下) -电容传感闭环控制,最高分辨率0.1nm -优于4 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Sxxx.XYZ,压电纳米扫描台,三维扫描,兼容无磁高真空 -100/200/300 μm多行程可选,XYZ三轴运动 -电容传感闭环控制,最高分辨率1 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Sxxx.Z,压电升降扫描台,Z轴扫描运动 -100/200/300 μm多行程可选,Z方向运动 -电容传感闭环控制,最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选
Sxxx.X,压电陶瓷位移台,X轴扫描,兼容无磁高真空 -100/200/300/500 μm多行程可选 -电容传感闭环控制,最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁,超高真空等特殊版本可选