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压电扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空

简要描述:Sxxx.XYZ.C,压电扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空
紧凑型 “S 系列“ 标准版系,电容闭环控制

  • 产品型号:Sxxx.XYZ.C
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:168

详细介绍

压电·二维/三维扫描运动 Sxxx.XYZ.C

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动"需求的定制化解决方案


三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um200 um × 200 um × 200 um

外形尺寸, 55 mm × 55 mm × 40 mm

闭环定位精度优于 1 nm

支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

压电扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空——详细参数:




压电扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空——尺寸图

压电扫描台,三维扫描运动,兼容无磁高真空


多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含:

S —— 扫描标准系列;

SD —— 高动态系列;

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。




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