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压电升降扫描台,Z轴扫描运动

简要描述:Sxxx.Z.C,压电升降扫描台,Z轴扫描运动
紧凑型 “S 系列“ 标准版系,Z 方向大行程

  • 产品型号:Sxxx.Z.C
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:430

详细介绍

压电·单维扫描运动 Sxxx.Z.C

紧凑型单轴Z轴方向运动,电容位置闭环控制


Z 方向运动范围 100-300 um

外形尺寸,40 mm x 40 mm x 18 mm

闭环定位精度优于1 nm (开环版本可选)

最大负载 500 g

支持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

压电升降扫描台,Z轴扫描运动——详细参数:



压电升降扫描台,Z轴扫描运动——尺寸图

压电升降扫描台,Z轴扫描运动


多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含:

S —— 扫描标准系列;

SD —— 高动态系列;

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。



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