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微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空

简要描述:SD15/30.x.C,微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空
紧凑型 “SD系列“ 高动态系列

  • 产品型号:SD15/30.x.C
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:205

详细介绍

压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.x.C

高速扫描运动,电容闭环传感,超高运动分辨率



X 方向运动范围 15 um, 30 um

外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm

闭环定位精度优于 0.1 nm

电容位置传感器

高速运动响应

支持高真空 (.HV) ,超高真空 (.UHV) 选件升级


微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空——详细参数:



微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空——尺寸图

SD15.x.C

微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空

SD30.x.C


微纳压电扫描台,高速扫描运动,兼容高真空


多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含:

S —— 扫描标准系列;

SD —— 高动态系列;

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。





 

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