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XYZ三维压电扫描台,高负载,兼容高真空

简要描述:SH30.xyz.C,XYZ三维压电扫描台,高负载,兼容高真空
紧凑型 “SH 系列“ 高负载系列

  • 产品型号:SH30.xyz.C
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:453

详细介绍

压电·三维扫描运动 SH30.xyz.C

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动"需求的定制解决方案



三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um

外形尺寸,160 mm x 160 mm x 35 mm

闭环分辨率优于 0.3 nm

最大负载10 kg

支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级


XYZ三维压电扫描台,高负载,兼容高真空——详细参数:



XYZ三维压电扫描台,高负载,兼容高真空——尺寸图

XYZ三维压电扫描台,高负载,兼容高真空


多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含:

S —— 扫描标准系列;

SD —— 高动态系列;

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景,支持电容闭环传感,可选无磁/高真空/超高真空选件升级。







 

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