高负载三轴压电扫描台，兼容无磁高真空

高负载三轴压电扫描台，兼容无磁高真空

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动"需求的定制解决方案

-XYZ三轴扫描运动，10 kg大负载

-电容传感闭环控制，最高分辨率0.3 nm

-优于4 nm重复定位精度

-无磁，超高真空等特殊版本可选

高负载三轴压电扫描台，兼容无磁高真空

多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含：

S —— 扫描标准系列；

SD —— 高动态系列；

SH —— 高负载系列。

S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。

      多场低温科技（北京）有限公司（简称“多场科技"）于2017年正式运营，作为国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人"企业，公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广，目前已形成了具有先进技术水平的严苛环境纳米运动控制产品集群、模块化的全品类超精密运动控制以及涵盖力热声光电全方面的物性表征系列产品，并推出了融合多场先进技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。

      多场科技产品涵盖：Ⅰ低温强磁场下的电学、热学、光学和磁学等物性测试系统；Ⅱ纳米级自动化解决方案，覆盖全环境全品类纳米分辨率压电位移台、亚纳米级电容式位置传感、皮米级多通道激光干涉测距仪、精密光学自动化等；Ⅲ极低温低振动物性表征平台。

      公司坚持创新驱动、稳扎稳打、广泛开展合作、积极拓展业务范围，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域，着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案，帮助客户更高效地推动技术发展，在国内工业升级、芯片自主化等大趋势下，为相关行业和领域突破“卡脖子"问题提供了强力的技术支撑。