通孔型压电扫描台，XYZTxTyRz六自由度运动

通孔型压电扫描台，XYZTxTyRz六自由度运动

➡ 高负载·高速六自由度运动，大通孔设计，并联运动构型+电容闭环传感

-电容闭环，最高分辨率1 nm/0.1 urad

-优于3 nm重复定位精度

-100/200/300 μm多行程可选

-无磁，超高真空等特殊版本可选

通孔型压电扫描台，XYZTxTyRz六自由度运动

多场科技“压电扫描台·通孔型"解决方案包括Carrier.S 系列（标准型）和Carrier.SL 系列（轻量型）。Carrier.S & SL 系列主要针对精密光学，半导体表征等应用场景，覆盖载物台“大行程·高精度·重负载"等需求，核心特点包括：

• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等运动形式全面支持

• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

       多场低温科技（北京）有限公司（简称“多场科技"）于2017年正式运营，作为国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人"企业，公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广，目前已形成了具有先进技术水平的严苛环境纳米运动控制产品集群、模块化的全品类超精密运动控制以及涵盖力热声光电全方面的物性表征系列产品，并推出了融合多场先进技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。

      多场科技产品涵盖：Ⅰ低温强磁场下的电学、热学、光学和磁学等物性测试系统；Ⅱ纳米级自动化解决方案，覆盖全环境全品类纳米分辨率压电位移台、亚纳米级电容式位置传感、皮米级多通道激光干涉测距仪、精密光学自动化等；Ⅲ极低温低振动物性表征平台。

      公司坚持创新驱动、稳扎稳打、广泛开展合作、积极拓展业务范围，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域，着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案，帮助客户更高效地推动技术发展，在国内工业升级、芯片自主化等大趋势下，为相关行业和领域突破“卡脖子"问题提供了强力的技术支撑。