压电偏转台内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，这种结构具有高的稳定性和良好的导向精度，能够确保在运动过程中减少机械摩擦和回差，提高偏转精度和重复性；整体结构通常较为紧凑，体积小巧，便于集成到各种光学系统中，如显微系统、扫描系统等，且不会占用过多的空间。
压电偏转台的应用领域：
-激光光束扫描与合束：在激光加工、激光通信、激光显示等领域，需要对激光光束进行准确的扫描和合束操作，能够提供高精度的角度调整，确保激光光束准确地指向目标位置，实现复杂的扫描图案和合束效果。
-半导体加工：在半导体制造过程中，如光刻、蚀刻等工艺环节，需要对晶圆或芯片进行准确的定位和角度调整，可用于晶圆定位系统，保证加工的高精度和高质量。
-生物医学：在生物医学成像、激光治疗等应用中，可用于调整光学元件的角度，实现对生物样本的准确扫描和成像，或者控制激光治疗设备的能量输出方向，提高治疗效果和安全性。
压电偏转台的测定步骤：
1.准备工作：
-设备检查：确保控制器、电源等设备外观无损坏，连接线完好无损。检查各部件的连接是否牢固，包括偏转台与底座、控制器与电源、偏转台与控制器之间的连接等。
-环境准备：放置在稳定、平整的工作台上，避免振动和冲击。确保工作环境温度、湿度在设备允许的范围内，一般温度控制在20℃±5℃，湿度保持在40-60为宜。同时，要远离强磁场、强电场和强光源等干扰源。
-校准工具准备：根据需要准备好相应的测量工具，如激光干涉仪、角度测量仪、位移传感器等，用于对偏转台的性能进行测量和校准。
2.初始设置：
-通电预热：连接好电源和控制器，按照设备说明书的要求进行通电预热，一般预热时间为15-30分钟，使设备达到稳定的工作状态。
-参数设置：根据具体的测试要求，在控制器上设置相关的参数，如电压范围、驱动频率、偏转角度范围等。这些参数的设置应参考设备的技术手册和实际测试需求。
3.性能测量：
-位移测量：使用位移传感器或激光干涉仪等设备，对压电偏转台的位移进行测量。在不同的驱动电压下，记录偏转台的位移变化，绘制位移-电压曲线，以确定偏转台的位移分辨率、线性度和重复性等性能指标。
-角度测量：对于具有角度偏转功能的压电偏转台，使用角度测量仪或光学自准直仪等设备，测量偏转台的角度变化。在不同电压驱动下，记录偏转角度，分析其角度分辨率、精度和滞后性等性能。
-频率响应测量：通过施加不同频率的驱动信号，测量响应情况。记录偏转台在不同频率下的位移或角度变化，绘制频率响应曲线，以确定偏转台的工作频率范围和共振频率等参数。
4.数据处理与分析：
-数据记录：在测量过程中，准确记录各项测量数据，包括驱动电压、位移、角度、频率等参数。可以使用数据采集系统或手动记录的方式进行数据记录，确保数据的准确性和完整性。
-数据分析：对记录的数据进行处理和分析，计算偏转台的各项性能指标，如分辨率、精度、重复性、线性度等。通过对比不同测量条件下的数据，分析偏转台的性能特点和存在的问题，并评估其是否满足使用要求。
