压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空

Lxxx.indus 系列·压电线性运动位移台

极简工业风的运动模块

多自由度·纳米级运动也可以搭积

• 超安静运动，20 kHz驱动频率；

• 极紧凑外形设计；

• 内置集成光学位置传感器；

• 30, 60, 100, 180mm多行程可选；

• 高负载，支持多种拼接案例；

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm；

• 最小步伐优于 10 nm；

• 可提供多轴堆叠安装转接件；

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用

L030.indus

尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm

行程：30 mm

L060.indus

尺寸：105 mm x 24 mm x 16 mm

行程：60 mm

L100.indus

尺寸：180 mm x 24 mm x 17 mm

行程：100 mm

L180.indus

尺寸：300 mm x 36 mm x 18 mm

行程：180 mm

压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——详细参数：

压电陶瓷位移台线性运动，兼容无磁高真空——尺寸图：

L030.indus

L060.indus

L100.indus

L180.indus