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Carrier.Sxxx.6D，通孔型压电扫描台，XYZTxTyRz六自由度运动 -电容闭环，最高分辨率1 nm/0.1 urad -优于3 nm重复定位精度 -100/200/300 μm多行程可选 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XYZ，通孔型压电扫描台，XYZ三轴并联运动 -电容传感闭环控制，最高分辨率1 nm -优于10 nm重复定位精度 -100/200/300 μm多行程可选 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.ZTxTy，通孔型压电扫描台，Z向垂直运动+TxTy偏摆 -垂直运动，TxTy两轴摇摆调节 -电容闭环，运动分辨率1 nm/0.05 urad -优于10 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.Z，通孔型压电扫描台，Z方向，高负载 -电容传感闭环控制，1 nm运动分辨率 -80 mm大通孔，5 kg大负载 -Z方向垂直运动高准直，100/200 μm多行程可选 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XYRz，通孔型压电扫描台，XYRz方向运动 -XY水平高速运动，绕Z轴旋转设计 -电容闭环，运动分辨率1 nm/0.3 urad -100/200 μm多行程可选 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Carrier.Sxxx.XY，通孔型压电扫描台，XY方向平面运动 -电容传感闭环控制，最高分辨率1 nm -优于10 nm重复定位精度 -100/200 μm多行程可选 -无磁，超高真空等特殊版本可选
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