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SH150.X，压电单轴高负载扫描台，兼容无磁高真空 -X轴150 μm行程，8 kg高负载 -电容传感闭环控制，最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
S100.XYZ.P，压电纳米扫描台，XYZ三轴并联扫描运动 -XYZ三自由度并联运动，单轴100 μm行程 -电容传感闭环控制，最高分辨率1 nm -优于6 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Sxxx.XY，压电扫描台，XY轴平面扫描，兼容无磁高真空 -100/200/300/500 μm多行程可选 -电容传感闭环控制，最高分辨率0.5 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
SH30.XYZ，高负载三轴压电扫描台，兼容无磁高真空 -XYZ三轴扫描运动，10 kg大负载 -电容传感闭环控制，最高分辨率0.3 nm -优于4 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
SD15/30.X，压电单轴高速扫描台，兼容无磁高真空 -3.3kHz共振频率 (零负载下) -电容传感闭环控制，最高分辨率0.1nm -优于4 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
Sxxx.XYZ，压电纳米扫描台，三维扫描，兼容无磁高真空 -100/200/300 μm多行程可选，XYZ三轴运动 -电容传感闭环控制，最高分辨率1 nm -优于5 nm重复定位精度 -无磁，超高真空等特殊版本可选
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